2024年3月20日,全球最大规模半导体年度盛会SEMICON CHINA在上海新国际博览中心召开。至纯科技(603690.SH)连续多年参展,此次亦携湿法设备、工艺支持设备和整体解决方案重磅登场。

在如今世界各国角力人工智能(AI)竞争的背景下,算力之争凸显出重要战略意义,算力基础设施建设也是我国重点布局的方向。为满足不断涌现、动态发展的行业用户端需求,至纯科技立足以客户为本,体系布局集成电路工艺设备,汇聚行业人才提升自主创新能力,实现关键工艺机台自主研发、关键制程国产化,砥砺推进集成电路核心装备高水平科技自立自强,持续做中国集成电路强国的建设者和见证者。

作为国内领先的半导体设备制造与服务商,至纯科技在展会上全面分享了湿法设备、工艺气体、化学品、前驱体和研磨介质等工艺支持设备,吸引众多行业客户。

至微科技是至纯科技旗下国内领先并对标国际先进的湿法设备提供商。至微科技为集成电路制造及泛半导体企业提供湿法工艺整体解决方案,解决方案包括湿法设备及湿法工艺开发服务等。公司的湿法设备有槽式和单片系列,覆盖支持逻辑、存储及化合物特色工艺等领域全系列湿制程工艺。

与此同时,至纯科技旗下至纯集成亦展出高纯气体应用设备、前驱体应用设备、高纯化学品应用设备和辅助应用设备等多个口碑产品。作为气体及化学品支持设备领域的国产替代标杆,这些产品已经成为主流集成电路制造企业的认定品牌,收获持续增长的重复订单。

作为至纯科技旗下国内领先并对标国际先进的高纯工艺系统整体解决方案提供商,至纯集成致力于为泛半导体产业提供超高纯度的工艺介质系统,至今已经出货各类高纯特气设备和高纯化学品设备数万台,为各个FAB厂提供干法和湿法工艺机台支持系统。至纯集成多款产品拥有完全自主知识产权,带头推进行业核心技术自主化、供应链国产化。从设计制造到安装调试并交付,至纯集成的高纯工艺系统现已获得用户的高度评价及广泛信赖,服务对象多为各自行业的领军企业。